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滿足1um以上電極/PAD使用;

探針臺(tái)整體位移精度高達(dá)3μm，樣品臺(tái)四維精密調(diào)節(jié)；

探針座采用進(jìn)口交叉滾柱導(dǎo)軌，無(wú)回程差設(shè)計(jì)；

顯微鏡增加X(jué)Y50mm顯微成像移動(dòng)功能；

弧形探針架設(shè)計(jì)，可放置 6個(gè)DC 探針座/4個(gè)RF探針座；

漏電精度：100fA（屏蔽箱內(nèi)）；

應(yīng)用于：MEMS測(cè)試、芯片測(cè)試、晶圓測(cè)試、測(cè)試光電器件的電學(xué)性能和光學(xué)性能等；

探針臺(tái)整體位移精度高達(dá)3μm，樣品臺(tái)四維精密調(diào)節(jié)；

顯微鏡增加X(jué)Y精密移動(dòng)功能，位移精度：3μm；

雙目鏡SWH10X/25mm；0.65倍CTV，明場(chǎng)長(zhǎng)軸照明器；

預(yù)留濾光及偏光插槽，帶光闌調(diào)節(jié)通光量及視野大小；

選用95mm大視場(chǎng)平場(chǎng)復(fù)消色差長(zhǎng)焦物鏡；

應(yīng)用于：MEMS測(cè)試、芯片測(cè)試、晶圓測(cè)試、測(cè)試光電器件的電學(xué)性能和光學(xué)性能等；

激光顯微鏡，5檔物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)，可引入激光完成光電流測(cè)試；

高清2000W相機(jī)成像相機(jī)，1920*1080；

左側(cè)為相機(jī)接口，兼容 CCD 以及 CMOS 相機(jī)；

中間為光源耦合接口、右側(cè)為L(zhǎng)ED照明光源接口；

配置5X、10X、20X、50X物鏡（其他可選）；

整體位移分辨率3μm，樣品臺(tái)XYZR四維調(diào)節(jié)；

應(yīng)用于：科研 IPCE，光致發(fā)光，光電流等光電測(cè)試；

結(jié)構(gòu)緊湊，功能實(shí)用，高性價(jià)比；

滿足1um以上電極/PAD使用;

漏電精度：10pA（屏蔽箱內(nèi)）

探針臺(tái)整體位移精度高達(dá)10μm，樣品臺(tái)四維精密調(diào)節(jié)；

精密燕尾傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，線性移動(dòng)，無(wú)回程差設(shè)計(jì);

應(yīng)用于：半導(dǎo)體、MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）、超導(dǎo)、鐵電子學(xué)、材料科學(xué)以及物理和光學(xué)等領(lǐng)域；

整體一體化設(shè)計(jì)，集成度高，功能實(shí)用；

U型探針架，可以放置4個(gè)探針座；

探針臺(tái)整體位移精度高達(dá)10μm，樣品臺(tái)四維精密調(diào)節(jié)；

漏電流精度：10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）；

精密燕尾槽，線性移動(dòng)，無(wú)回程差設(shè)計(jì)；

應(yīng)用于：功率器件測(cè)試、MEMS測(cè)試、太陽(yáng)能電池片測(cè)試、材料表面電阻率測(cè)試等；