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• 滿足1um以上電極/PAD使用;
• 探針臺整體位移精度高達3μm，樣品臺四維精密調節；
• 探針座采用進口交叉滾柱導軌，無回程差設計；
• 顯微鏡增加XY50mm顯微成像移動功能；
• 弧形探針架設計，可放置 6個DC 探針座/4個RF探針座；
• 漏電精度：100fA（屏蔽箱內）；
• 應用于：MEMS測試、芯片測試、晶圓測試、測試光電器件的電學性能和光學性能等；

     譜量光電 探針臺是一種重要的半導體測試設備。探針臺的工作原理是將芯片吸附在樣品臺上，然后探針座精密移動將探針精確定位到待測點上，線纜連接半導體參數分析儀（數字源表）通過測試軟件對芯片進行電性能測試分析。具體來說，探針臺將測試探針放置在芯片表面的測試點上，然后利用信號源給芯片施加一定的電壓或頻率信號。再利用示波器等儀器檢測芯片的輸出電信號，從而確定芯片的電參數和性能。主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試，可以根據客戶需求提供定制化產品，是高校科研及產業研發的理想之選。