探針臺
Probe Stations
譜量光電 探針臺又稱探針測試臺,主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規格芯片,并提供多個可調測試探針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。適用于對材料、芯片等進行科研實驗分析,抽查測試等用途。
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樣品臺行程
XY軸50mm,Z軸60mm,R軸360旋轉可鎖緊 |
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綜合最大放大倍數
~270倍 |
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探針座調節精度
3μm |
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漏電精度
10pA屏蔽箱內) |
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線纜規格
同軸接口(BNC、鱷魚夾、香蕉插頭)/三同軸接口(可選配) |


(Keithley26系列源表實測)

PLCTS 標準型基礎測試探針臺結構小巧、功能實用,超高性價比。在滿足基本測試功能基礎上,去除了非必要得部件滿足常規半導體器件的研發、制造和測試需要,是光電芯片/器件測試的理想之選。如需更換探針座款式(3μm、1μm、0.7μm等)及線纜規格(三同軸線纜)可聯系客服。