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高低溫真空探針臺

  • 參數規格
  • 漏電精度測試
  • IV測試曲線
產品說明
  • 控溫范圍可達-142℃-600℃;
  • 控溫精度可達±1℃,顯示精度1℃,溫度均勻性±3℃;
  • 極限真空度優于4*10-1@機械泵,極限真空度優于3*10-4Pa@分子泵組;
  • 探針位移行程40mm,分辨率3μm;
  • 三同軸探針夾具,漏電精度100fA;
  • 配置氣浮隔振平臺,固有頻率:1.2Hz~1.8Hz;
  • 廣泛應用于半導體材料、納米器件、超導材料、鐵電材料等領域的研究與開發;

     譜量光電 高低溫真空探針臺是一種集成了真空環境控制、溫度調節與電學測試功能的精密實驗設備。主要核心功能是在高真空環境下對樣品進行高溫或低溫條件下的電學特性測試。真空腔體采用304不銹鋼做真空密封設計,機械泵或分子泵組合,極限真空度優于3*10-4Pa。樣品臺高溫通過PID控制器實現快速響應和穩定控溫,溫度范圍可達600℃。低溫利用液氦(沸點沸點77K)的極低沸點,通過液氦循環系統實現超低溫-142℃真空低溫環境。搭配氣浮隔振平臺實現實驗的超穩定性,是模擬不同溫度下半導體材料、芯片,半導體器件等測試的理想之選。

通用參數
控溫范圍
-142℃~600℃
真空腔體材質
304不銹鋼
探針座行程
XYZ40mm
探針座調節精度
3μm
線纜規格
三同軸線纜
真空度
<4*10-1@機械泵,<3*10-4Pa@分子泵
隔振平臺
氣浮隔振平臺

Keithley26系列源表實測

高低溫真空探針臺
  • 控溫范圍可達-142℃-600℃(如300℃以上需另配水冷系統)
  • 控溫精度可達±1℃,顯示精度1℃,溫度均勻性±3℃
  • 極限真空度優于-1Pa@機械泵,極限真空度優于3*10^(-4)Pa@分子泵組;
  • 探針位移行程40mm,分辨率3μm;

PLCTS 高低溫真空探針臺主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環境,以便測量分析溫度變化時芯片性能參數的變化。腔體內被測芯片在真空環境中有效避免易受氧化半導體器件因接觸空氣所帶來的測試結果誤差,是材料學,芯片,半導體器件等方向實驗分析的理想之選。

俯視圖示意
產品型號 樣品臺尺寸 控溫范圍 真空度 顯微成像放大倍率 對比 單價 發貨日期 購物車
LVTS-04 4英寸 -142℃~600℃ <4*10-1Pa@機械泵,<3*10-4Pa@分子泵組 ~300倍
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LVTS-06 6英寸 -142℃~600℃ <4*10-1Pa@機械泵,<3*10-4Pa@分子泵組 ~300倍
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LVTS-08 8英寸 -142℃~600℃ <4*10-1Pa@機械泵,<3*10-4Pa@分子泵組 ~300倍
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LVTS-12 12英寸 -142℃~600℃ <4*10-1Pa@機械泵,<3*10-4Pa@分子泵組 ~300倍
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