探針臺
Probe Stations
譜量光電 高低溫真空探針臺是一種集成了真空環境控制、溫度調節與電學測試功能的精密實驗設備。主要核心功能是在高真空環境下對樣品進行高溫或低溫條件下的電學特性測試。真空腔體采用304不銹鋼做真空密封設計,機械泵或分子泵組合,極限真空度優于3*10-4Pa。樣品臺高溫通過PID控制器實現快速響應和穩定控溫,溫度范圍可達600℃。低溫利用液氦(沸點沸點77K)的極低沸點,通過液氦循環系統實現超低溫-142℃真空低溫環境。搭配氣浮隔振平臺實現實驗的超穩定性,是模擬不同溫度下半導體材料、芯片,半導體器件等測試的理想之選。
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控溫范圍
-142℃~600℃ |
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真空腔體材質
304不銹鋼 |
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探針座行程
XYZ40mm |
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探針座調節精度
3μm |
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線纜規格
三同軸線纜 |
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真空度
<4*10-1@機械泵,<3*10-4Pa@分子泵 |
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隔振平臺
氣浮隔振平臺 |

(Keithley26系列源表實測)

PLCTS 高低溫真空探針臺主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環境,以便測量分析溫度變化時芯片性能參數的變化。腔體內被測芯片在真空環境中有效避免易受氧化半導體器件因接觸空氣所帶來的測試結果誤差,是材料學,芯片,半導體器件等方向實驗分析的理想之選。